V | 후베이 홀 센서 그룹 유한 회사

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PI(Physik Instrumente) LP의 고속 직접 구동 회전 스테이지에는 브러시리스, 무마찰 및 폐쇄 루프 토크 모터가 장착되어 있습니다. 이러한 빠른 회전 테이블의 가용성은 고속, 고정밀 및 최고의 서비스 수명의 이상적인 조합을 제공합니다.

PI는 기계식 및 공기 베어링이 포함된 폐쇄 루프 직접 구동 회전 테이블을 제공합니다. 스테이지 모델은 낮은 프로파일과 큰 조리개를 갖추고 있습니다. 높은 강성, 속도 및 부하 용량을 위해 스테이지 디자인이 개선되었습니다.

수명이 무제한이고 유지 관리가 필요 없고 마찰이 없는 모션이 필요한 경우 에어 베어링 회전 테이블을 권장합니다. 이러한 초정밀, 고속 회전 테이블은 매우 높은 정밀도와 무시할 수 있는 런아웃, 워블 및 편심 오류로 진동 없는 모션을 제공합니다.

윤활유가 부족하기 때문에 이러한 클린룸은 포토닉스, 광학, 반도체 제조, 테스트 및 계측 관련 프로젝트의 모든 고성능 계측 응용 분야에 일관되고 이상적입니다.

벨트 구동 회전 스테이지 또는 웜 기어 구동 회전 스테이지와 달리 빠른 직접 구동 스테이지는 기어, 커플링 또는 구동 벨트의 굴곡을 제거하여 백래시가 없는 정확한 회전 모션을 제공하고 탁월한 속도 불변성을 제공합니다. 웜기어 드라이브에 비해 속도가 더 빠릅니다.

고속 회전 테이블은 고성능 공장 자동화, 반도체, 레이저 가공 응용 분야 및 연구에 활용됩니다. 즉각적인 계측 위치 피드백을 제공하는 브러시리스, 고토크 모터를 사용함으로써 백래시가 완전히 제거되고 신뢰성이 크게 향상되었습니다.

일반적으로 차이가 없습니다. 더 큰 모델이 나올수록 테이블을 더 자주 활용하고, 더 작은 크기의 모델을 스테이지라고 부르는 경우가 많습니다.

최신 직접 계측 로터리 인코더를 사용하면 대형 로터리 테이블 플랫폼이 있는 선택한 모델에서 마이크로라드의 1/100까지 센서 분해능을 사용할 수 있습니다. 이는 PI의 EtherCat 기반 컨트롤러가 제공하는 것과 같은 최신 폐쇄 루프 브러시리스 모터의 높은 보간 계수를 활용합니다.

높은 엔코더 분해능과 견고한 서보 컨트롤러에 따라 직접 구동 로터리 테이블은 뛰어난 속도 제어 기능도 제공합니다. 이는 고속 레이저 처리, 인덱싱, 반도체 웨이퍼 검사와 같은 자동화 애플리케이션에 필요합니다.

대부분의 직접 구동 회전 스테이지는 수직 및 수평으로 장착될 수 있으며 3가지 회전 자유도(3DOF, 요, 피치 및 롤)의 조합이 모두 해결됩니다.

다이렉트 드라이브 및 다이렉트 인코더